Diferencia entre revisiones de «Fotolitografía»

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* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography] Visión general sobre los procesos litográficos en la industria de los semiconductores, (en inglés)
* [https://web.archive.org/web/20051127142407/http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html Optical Lithography Introduction] Página de IBM con artículos sobre litografía, (en inglés)
* [http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 Immersion Lithography Article] {{Wayback|url=http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 |date=20060321174638 }} Donde se muestra como se incrementa la profundidad de foco mediante la litografía de inmersión (en inglés)
* [http://britneyspears.ac/physics/fabrication/photolithography.htm Photolithography] Artículo sobre la litografía de contacto, proximidad y proyección (en inglés)
 
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