Diferencia entre revisiones de «Fotolitografía»

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* '''Aplicación del [[ácido nítrico]] o [[agua fuerte]]'''. Se limpian los restos de las resinas fotorresistentes, dejando la oblea con las marcas originales de la fotomáscara.
 
[[Archivo:Spinner.jpg|thumb|left|Un spinerspinner empleado para aplicar una capa fotosensible a la superficie de una oblea de silicio.]]
 
Las [[sala blanca|salas blancas]] donde se realizan estas operaciones suelen estar libres de partículas en suspensión, así como de la exposición a luces azules o ultravioletas, con el objeto de evitar tanto la contaminación del proceso como la exposición indeseada de las fotorresinas. El [[espectro de luz|espectro]] de luz empleado para la iluminación de los procesos es de color amarillo, para evitar cualquier tipo de reflejo.
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