Archivo:BioMEMS with X-shpaed cantilever.png

BioMEMS_with_X-shpaed_cantilever.png (535 × 233 píxeles; tamaño de archivo: 113 kB; tipo MIME: image/png)

Resumen

Descripción
English: Electron microscope pictures of X-shaped TiN beam above TiN ground plate (height difference 2.5 µm). Due to the clip in the middle an increasing reset force develops, when the beam bends downwards. The right figure shows a magnification of the clip in the middle, compare M. Birkholz, K.-E. Ehwald, T. Basmer et al. (2013). "Sensing glucose concentrations at GHz frequencies with a fully embedded Biomicro-electromechanical system (BioMEMS)". J. Appl. Phys. 113: 244904. DOI:10.1063/1.4811351.
Fecha
Fuente Trabajo propio
Autor MBirkholz

Licencia

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BioMEMS with X-shpaed cantilever

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